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반도체 · 액정 제조에 활용되는 불소

다채로운 불소화학제품이 반도체와 액정의 제조공정을 지탱하고 있습니다.

약간의 이물질도 허락되지 않는 세계로, 고순도이며 내약품성이 뛰어난 불소수지와 불소고무, 프로세스 재료 등, 고품질의 불소화학제품에 도움이 되고 있습니다.

반도체 · 액정 제조 용도

【플랜트 설비】 약액 배관 재료

약액 배관 재료

약액용의 배관 재료로는 고순도이며 내약품성이 뛰어난 불소수지 NEOFLON PFA가 많이 사용되고 있습니다.

대상 제품
요구 특성
  • 내약품성

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【플랜트 설비】 배기 덕트

배기 덕트

배기 가스용의 덕트에는 난연성과 내약품성이 뛰어난 불소도료가 많이 사용되고 있습니다.

대상 제품
요구 특성
  • 내약품성 · 난연성

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【플랜트 설비】 약액 탱크

약액 탱크 약액 탱크

탱크 내의 약액을 안전하고 고순도로 유지하기 위해 고순도이며 내약품성이 뛰어난 불소수지의 라이닝 시트가 이용됩니다. 또한 탱크 외부에 ZEFFLE 차열도료를 도포함으로써 보다 장기간 탱크를 사용할 수 있습니다.

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【제조 설비】 튜브 · 이음새 · 밸브 · 필터

튜브・이음새・밸브・필터

반도체 제조장치 내에서는 튜브, 이음새, 밸브, 필터 등 많은 부품에서 내약품성이 뛰어난 불소수지 NEOFLON PFA가 사용되고 있습니다.

대상 제품
요구 특성
  • 내약품성

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【제조 설비】 다이어프램(diaphragm) · 벨로즈 · 약액조(薬液槽)

다이어프램(diaphragm)・벨로즈・약액조(薬液槽) 다이어프램(diaphragm)・벨로즈・약액조(薬液槽)

내약품성이 뛰어난 불소수지 폴리프론 PTFE는 반도체 제조공정에서 많이 사용되고 있습니다. 그 중에서도 내굴곡성이 뛰어난 폴리프론 PTFE M-112는 다이어프램(diaphragm), 벨로즈 등의 중요 부품 재료로서 사용되고 있습니다.

대상 제품
요구 특성
  • 내약품성

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【제조 설비】 SEAL재

SEAL재

반도체 제조장치 내의 SEAL재로서 고순도이며 내약품성이 뛰어난 DUPRA가 이용되고 있습니다.

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【클린룸】 에어필터

에어필터

불소수지를 여재(濾材)에 이용한 에어필터는 저압손, 고효율, 뛰어난 내약품성을 발휘해, 클린룸에 이용되고 있습니다.

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【프로세스 재료】 에칭제

에칭제

높은 클린성이 요구되는 제조공정에서 고순도의 에칭제가 사용되고 있습니다.

대상 제품

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【프로세스 재료】 화인케미컬(커스텀 합성)

고객이 디자인한 함불소의 ARC(반사 방지) 재료, 절연막 재료를 커스텀 합성할 수 있습니다.

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