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반도체 제조장치용 튜브

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반도체 제조장치용 재료에는 내약품성이 뛰어나고 고순도 약액을 오염시키지 않는 깨끗한 재료로서 불소수지가 많이 사용되고 있습니다.

튜브, 이음 등의 부품

요구 특성

  • ・내스트레스 크랙성
    ・내약품성
    ・뛰어난 기계 강도
    ・클린성(추출 이온에 의한 약액의 오염이 적을 것)

DAIKIN의 Solution

불소수지 NEOFLON PFA AP시리즈는 내약품성뿐만이 아니라 뛰어난 내스트레스 크랙성과 고순도 약액을 오염시키지 않는 높은 클린성을 겸비하고 있어 배관계통의 수명 연장과 높은 신뢰성에 공헌하고 있습니다.


> 기술 리포트】PFA 튜브의 표면 조도에 관한 새로운 제안(반도체 칩의 미세화에 대응한 초평활 PFA 튜브)

반도체 집적회로의 미세화로 수율에 영향을 주는 오염 미립자의 저감 등 클린화에 대한 관심이 높아지고 있습니다. PFA 튜브 내의 표면 요철부에 나노 사이즈의 미립자가 체류할 가능성에 대해 의논하기 위해서는 구정(球晶) 사이즈에 의존한 서브 미크론 레벨의 표면 조도의 평가에서는 불충분한 것이 나타나 왔습니다. 이 리포트에서는 최첨단의 미세화 프로세스에 대응한 나노 레벨로 표면 평활성을 평가할 수 있는 신규방법과 필요성에 대해서 소개합니다.

하이배리어 튜브

요구 특성

  • ・내약품성
    ・저약액 투과
    ・가스 배리어성
    ・클린성(추출 이온에 의한 약액의 오염이 적을 것))

DAIKIN의 Solution

불소수지 NEOFLON CPT LP 시리즈는 저약액 투과와 가스 배리어성이 뛰어납니다. 튜브에 사용함으로써 약액과 가스의 투과를 적게 해, 주변기기에 대한 영향을 저감합니다. 또한 튜브의 열화를 억제해 장치의 수명 연장에도 공헌합니다.

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