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반도체용 에칭제

반도체 제조공장에서 사용되고 있는 고순도 에칭 재료입니다. 에칭제를 웨트, 드라이 모두 공급할 수 있는 것은 DAIKIN뿐이며, 양쪽 모두 세계 No.1 수준의 고순도입니다.

개요

DAIKIN은 반도체 제조공정을 대상으로 웨트타입과 드라이타입의 에칭 재료를 제공하고 있습니다. 웨트 에칭제는 금속 이온 등의 불순물을 대폭 저감한 고품질의 제품이며, 그 중에서도 독자적인 계면활성제를 첨가한 BHF-U는 침투성 향상과 웨이퍼에의 입자 부착을 저감하고 있습니다. 드라이 에칭제는 처리 가스로 일관 생산으로 공급 능력과 품질 안정에 공헌합니다.


DAIKIN은 풍부한 제품군(웨트타입, 드라이타입), 처리 가스로 일관 생산(드라이타입), 세계 톱 레벨의 고순도로 고객께 Solution을 제공하고 있습니다.

그레이드・장점

드라이 에칭제

그레이드 장점 다운로드
PFC-14 (CF4) 고순도(99.999%이상)*2 테크니컬 데이터 시트
PFC-116  (C2F6) 테크니컬 데이터 시트
PFC-C318  (C4F8) 테크니컬 데이터 시트
HFC-23  (CHF3) 테크니컬 데이터 시트
HFC-32  (CH2F2) 테크니컬 데이터 시트

*2: 수치는 대표값이며, 보증값은 아닙니다. 사양에 관한 자세한 내용은 문의하십시오.

시장・용도

Semicon

반도체

관련 제품

Fluoropolymers

불소수지 도료

DAIKIN의 강점

・불소 폴리머의 설계・중합 기술을 활용한 풍부한 제품군(폴리머 조성×변성 타입): 특히 고순도 제품・변성 타입이 뛰어남
・테크니컬 서비스: 평가・분석, 가공 지도 등으로 사용자 서포트 충실

주요 기능

내열성, 내약품성, 내후성, 비점착성, 전기 특성

Fluoro Coatings

불소수지 도료

DAIKIN의 강점
・풍부한 제품군(수계, 용제계, 고무 도료, 분체 도료)
・폴리머 합성에서 도료 배합까지 일관된 개발 및 생산
・테크니컬 서비스: 평가・분석, 가공 지도 등으로 사용자 서포트 충실

주요 기능

이형성・비점착성, 내열성, 내약품성, 내식성, 저마모성